Pure and Applied Chemistry

PAC → Archive → Vol. 66 (1994) → Issue 6 → Plasma and surface diagnostics in PECVD…

Search PAC

 

Please leave this entry field empty:

Advanced search →

---

---

PAC Archives

Choose a volume… 2013 - Vol. 85 2012 - Vol. 84 2011 - Vol. 83 2010 - Vol. 82 2009 - Vol. 81 2008 - Vol. 80 2007 - Vol. 79 2006 - Vol. 78 2005 - Vol. 77 2004 - Vol. 76 2003 - Vol. 75 2002 - Vol. 74 2001 - Vol. 73 2000 - Vol. 72 1999 - Vol. 71 1998 - Vol. 70 1997 - Vol. 69 1996 - Vol. 68 1995 - Vol. 67 1994 - Vol. 66 1993 - Vol. 65 1992 - Vol. 64 1991 - Vol. 63 1990 - Vol. 62 1989 - Vol. 61 1988 - Vol. 60 1987 - Vol. 59 1986 - Vol. 58 1985 - Vol. 57 1984 - Vol. 56 1983 - Vol. 55 1982 - Vol. 54 1981 - Vol. 53 1980 - Vol. 52 1979 - Vol. 51 1978 - Vol. 50 1977 - Vol. 49 1976 - Vol. 48 1976 - Vol. 47 1976 - Vol. 46 1976 - Vol. 45 1975 - Vol. 44 1975 - Vol. 43 1975 - Vol. 42 1975 - Vol. 41 1974 - Vol. 40 1974 - Vol. 39 1974 - Vol. 38 1974 - Vol. 37 1973 - Vol. 36 1973 - Vol. 35 1973 - Vol. 34 1973 - Vol. 33 1972 - Vol. 32 1972 - Vol. 31 1972 - Vol. 30 1972 - Vol. 29 1971 - Vol. 28 1971 - Vol. 27 1971 - Vol. 26 1971 - Vol. 25 1970 - Vol. 24 1970 - Vol. 23 1970 - Vol. 22 1970 - Vol. 21 1969 - Vol. 20 1969 - Vol. 19 1969 - Vol. 18 1968 - Vol. 17 1968 - Vol. 16 1967 - Vol. 15 1967 - Vol. 14 1966 - Vol. 13 1966 - Vol. 12 1965 - Vol. 11 1965 - Vol. 10 1964 - Vol. 9 1964 - Vol. 8 1963 - Vol. 7 1963 - Vol. 6 1962 - Vol. 5 1962 - Vol. 4 1961 - Vol. 3 1961 - Vol. 2 1960 - Vol. 1 Archive →

---

Pure Appl. Chem., 1994, Vol. 66, No. 6, pp. 1373-1380

http://dx.doi.org/10.1351/pac199466061373

Plasma and surface diagnostics in PECVD (plasma-enhanced chemical vapor deposition) from silicon containing organic monomers